對于耐腐蝕限位開關，微動開關驅動機構直接關系到重要部件的密封性能和工作特性。其結構分為三類。
（1） 活塞式耐腐蝕限位開關
根據不同的密封方法，表中有兩種類型：A型和B型。A型用o形圈或薄膜密封。因為密封劑不暴露在外，所以它對工作機械碎屑的抵抗力更強。然而，缺點是沙子、碎屑等可能會被壓入活塞中?；瑒用?。雖然B型不壓砂、切屑等，但密封性能優于A型，但可能因熱切屑飛濺而損壞橡膠蓋。因此，需要根據不同的使用地點選擇A型或B型。柱塞式仍然通過柱塞的往復運動壓縮或吸入空氣。因此，如果長時間壓入柱塞，限位開關中的壓縮空氣將逸出，內部壓力與大氣壓力相同。即使柱塞急于復位，柱塞也有緩慢復位的趨勢。為避免此故障，根據柱塞壓力，將空氣壓縮設計為限制開關中總空氣量的20%以內。此外，為了延長微動開關的使用壽命，該結構安裝在OT吸收機構內部。OT吸收機構使用OT吸收彈簧來吸收剩余的柱塞沖程。相對于柱塞運動的機構停止在中間按壓微動開關以輔助柱塞行程。
（2） 鉸鏈擺桿式
在回轉桿（球）的末端，柱塞沖程按比例放大至回轉桿。因此，通常不使用OT吸收機制。
（3） 旋轉擺式耐腐蝕限位開關
但除此之外，還有兩種類型：一種是將柱塞復位功能分配給柱塞的類型；獲得恢復力并通過凸輪驅動輔助柱塞的螺旋彈簧類型。
